Растровый измерительный электронный микроскоп с камерой низкого вакуума
По-запросу
РЭМ-106И — растровый измерительный электронный микроскоп с камерой низкого вакуума для исследований в материаловедении, нанотехнологиях, физике, химии, геологии, микроэлектронике, биологии, медицине и др. областях с гарантированными метрологическими параметрами измерений линейных размеров субмикронного диапазона и массовой доли элементов в составе исследуемых объектов. Занесен в Госреестр и Российской Федерации как средство измерения.
- быстрое, с гарантированной точностью, измерение линейных размеров объектов;
- определение элементного состава объектов методом рентгеновского микроанализа с гарантированной точностью;
- высокое качество электронно-оптических изображений поверхности проводящих и диэлектрических объектов без специального приготовления в режимах вторичных (ВЭ) и отраженных электронов (ОЭ);
- набор тестовых образцов для калибровки и поверки метрологических параметров, электронно-оптического увеличения, разрешающей способности в режиме ВЭ и ОЭ, калибровки и поверки системы микроанализа; набор эталонов для количественного микроанализа;
- конструкция вакуумной системы, обеспечивающая два рабочих режима в камере объектов: высоковакуумный (классический РЭМ) и низковакуумный регулируемый – для исследования диэлектрических объектов;
- электронно-оптическая система с повышенной защищенностью от внешних электромагнитных полей;
- высокая виброустойчивость;
- объективная линза с разделительными диафрагмами для дифференциальной откачки камеры объектов и электронной пушки;
- управление вакуумной, электронно-оптической, энерго-дисперсионной системами прибора и механизмом перемещения объектов, а также визуализацию и хранение изображений и результатов микроанализа обеспечивается персональным компьютером;
- документирование изображений и спектров высокоразрешающим принтером;
- отображение информации о состоянии прибора на дисплее компьютера.
| ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ | |
|---|---|
| Параметр | Значение |
| Разрешение в режиме высокого вакуума (ВЭ), nm | 4 |
| Разрешение в режиме низкого вакуума (ОЭ), nm | 6 |
| Максимальный размер изображения, pixels | 1280×960 |
| Диапазон регулирования давления в камере, Pa | 1 — 270 |
| Диапазон ускоряющих напряжений, kV | 0,5 — 30 |
| Диапазон регулирования увеличений, × | 15 — 300000 |
| Максимальный размер объекта, mm | 50 |
| Диапазон перемещений объекта: • по координатам X, Y, mm • по координате Z, mm • наклон, ° • поворот, ° | ±25 50 -20÷60 360 |
| Время смены образца, min | 5 |
| Диапазон измерений линейных размеров, µm | 0,2 — 5000 |
| Пределы допускаемой основной погрешности измерений линейных размеров, не более: • в диапазоне от 0,2 µm до 0,8 µm, nm • в диапазоне свыше 0,8 µm до 5000 µm, % | ±40 ±4 |
| Диапазон анализируемых элементов: • в режиме высокого вакуума • в режиме низкого вакуума | 5 B - 92 U 12 Mg - 92 U |
| Разрешение ЭДС, eV | 139 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений массовой доли элемента в диапазоне от 6 С до 92 U в составе массивных образцов, не более: • для элементов с диапазоном массовой доли свыше 10 %, % • для элементов с диапазоном массовой доли свыше 1 % до 10 %, % • для элементов с диапазоном массовой доли от 0,1 % до 1 %, % | ±4 ±20 ±50 |
| Напряжение питания (1 фаза), V частота, Hz | 220 50/60 |
| Потребляемая мощность, kVА | 2,5 |
| Габаритные размеры ( колонна со стендом ), mm, не более: • длина • ширина • высота | 1050 2100 1850 |
| Масса, kg, не более | 685 |
- автономная система водяного охлаждения;
- набор эталонных объектов геологического происхождения;
- варианты комплектности (камера низкого вакуума и ЭДС) – по согласованию с потребителем.
