Параметры лазера на молекулярном азоте с продольным возбуждением разряда ЛГИ-21 и ЛГИ-503: длина волны излучения – 337 нм; частота повторения импульсов – до 100 Гц; средняя мощность излучения – не менее 3 мВт; энергия излучения – не менее 0,03 мДж; диаметр пучка излучения – 3 мм; расходимость излучения – 3 мрад; режим охлаждения – воздушный; габаритные размеры излучателя – 120x120x700 мм; наработка – 1000 ч.
Азотные лазеры, благодаря своим уникальным характеристикам, короткой длине волны (337 нм), малой длительности импульса излучения (10 нс) и сравнительно высокой мощности излучения (0,01¸1мВт), нашли широкое применение в технологиях.
Короткая длина волны позволяет фокусировать излучение в пятно малых размеров и обрабатывать элементы на уровне долей мкм.
Лазеры типа ЛГИ-21 применяются в лазерных установках типа «кварц» для подстройки монолитных фильтров, кварцевых резонаторов, а также при исследованиях. Также установки относительно недороги, скорость обработки пленочных покрытий на них составляет несколько миллиметров в секунду, а производительность до 100 операций в час.
